MicroTesterは、マイクロビーム（カンチレバー）でサンプルを圧縮し、前方にあるカメラでその変位を捉え、様々なアウトプットから、サンプルの強度を測定できる装置です。
構成
ビーム
ビームはタングステンで出来ており、径0.07～1.57㎜の中から選べます。ビームの径により、測定できる力が変わってきますので、ビームの選定は下記の表を参考にして下さい。
準備
ビームだけでも使用できますが、ビームの先端にプレートを付けて面で押し込む測定も可能です。下記にビーム、プレートの取り付け方法を説明します。
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クランプを専用の治具に取り付け、クランプの下部にビームを取り付けるための隙間を開けるため、クランプ下部のネジを緩めます。
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台座にビームをセットします。
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治具のノブを回して、クランプをビームの位置まで移動させ、最後にクランプのネジを締め付けて下さい。この時、クランプに対してビームが垂直になるようにしてください。
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プレートを付ける場合は、治具のノブを回して、再度クランプを上にあげます。
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次に、台座にプレートを置き接着剤を塗り、その上にビームが乗るように、クランプを下げます。
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最後に、ビームをプレートに押して、接着剤が乾けば完了です。
ビームの取り付けが完了しましたら、クランプからビームの先端までの長さを測ります。これは、後の設定に必要となります。
キャリブレーション
初めて装置を立ち上げる時、またビームを変更した時、別のパソコンを接続した時には、下記のオプティカルとピエゾのキャリブレーションが必要です。
１. オプティカル・キャリブレーション
まずは、[Tools]メニューの[Calibrations]サブメニューから[Optics Zoom Calibration]を選択して、ダイアログを開きます。
2．ピエゾ・キャリブレーション
オプティカル キャリブレーションが終わりましたら、4でビームを取り付けたクランプを、ピエゾアクチュエーターへネジで取り付けます。
その後、[Tool]メニューの[Calibrations]から、[Piezo Calibration]を選択し、
実行します。ピエゾがXYZ軸に移動し、約1分で終了します。
測定方法
1. テストファイル名
メニューの、File > Correct Newをクリックして下記ダイアログを開き、各項目を設定します。
2. ビーム設定
メニューの Setting > Equipmentをクリックし下記ダイアログを開き、各項目を設定します。
3. パラメーター設定
画面上のチャートの青色の列をクリックすると、Set Parameter Editorが開き、設定が可能です。
左下図のような、Load, Hold Recover, Restの各フェーズの秒数や、制御方法が設定できます。
基本、押し込みでの測定となりますが、設定方法を変えることにより、様々な測定が可能です。
装置詳細
LT モデル
G2 モデル